潔凈室的微塵檢測和紫外線燈的應用
潔凈室的原理和作用:
潔凈室(Clean Room)是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)??,而所給予設計之房間。即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非99%沒有一點灰塵,而是控制在一個微量的單位上。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標準主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
潔凈室的分類和構(gòu)成:
1.工業(yè)潔凈室
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
2.生物潔凈室
主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;
A、 一般生物潔凈室:主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般正壓。實質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負壓。例:細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)
潔凈室污染知識
1、發(fā)塵量
潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量,來自設備的可考慮通過局部排風排除,不流入室內(nèi);產(chǎn)品,材料等在運送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比,一般小,可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應用來自建筑表面的發(fā)塵也很少,一般占10%以下,發(fā)塵主要來自人,占90%左右。在人的發(fā)塵量上,由于服裝材料和樣式的改進,發(fā)塵量也不斷減少。
A、材質(zhì):棉質(zhì)發(fā)塵量大,以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式:大掛式發(fā)塵量大,上下分裝型次之,全罩型少;
C、活動:動作時的發(fā)塵量一般達到靜止時間3-7倍;
D、清洗:用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內(nèi)維護結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量,以地面為準,大約相應8平方米地面時的表面發(fā)塵量與一個靜止的人的發(fā)塵量相當。
2、發(fā)菌量
工作人員產(chǎn)生的污染:
1)皮膚:人類通常每四天完成一次皮膚的*脫換,人類每分鐘脫落約1000片皮膚(平均大小為30*60*3微米)
2)頭發(fā):人類的頭發(fā)(直徑約為50~100微米)一直在脫落。
3)口水:包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4)日常衣物:微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學品和細菌。
5)人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個大于0.3微米的微粒。
6)人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產(chǎn)生1000000個大于0.3微米的微粒。
7)人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產(chǎn)生5000000個大于0.3微米的微粒。
潔凈室微塵檢測:
一:粒子計數(shù)器
粒子計數(shù)器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的儀器,由顯微鏡發(fā)展而來,經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數(shù)器、激光空氣粒子計數(shù)器、PCS納米激光空氣粒子計數(shù)器的過程,其中因激光空氣粒子計數(shù)器測試速度快、動態(tài)分布寬、不受人為影響等各方面的優(yōu)勢,而成為近年來很多行業(yè)的主流產(chǎn)品。
不同標準的分類:
1、按測試原理:光散亂法測試(白光、激光)、顯微鏡法測試、稱重法測試、DMA法測試(粒徑分析儀)、慣性法測試、擴散法測試、凝聚核法測試(CNC)等。
2、按流量:小流量 0.1cfm(2.83L/min) 大流量 1cfm(28.3L/min)
3、按形狀、體積大?。菏殖质?、臺式
4、按測試通道:單通道(只測某一種粒子徑);雙通道(測試某兩種粒子徑);多通道(測試多種粒子徑)
5、其他:粒子計數(shù)器的應用領域
檢測原理:空氣中的微粒在光的照射下會發(fā)生散射,這種現(xiàn)象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關。但是就散射光強度和微粒大小而言,有一個基本規(guī)律,就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小,就是光散射式粒子計數(shù)器的基本原理。實際上,每個粒子產(chǎn)生的散射光強度很弱,是一個很小的光脈沖,需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用,把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號幅度較大的電脈沖,然后再經(jīng)過電子線路的進一步放大和甄別,從而完成對大量電脈沖的計數(shù)工作。此時,電脈沖數(shù)量對應于微粒的個數(shù),電脈沖的幅度對應于微粒的大小。
激光塵埃粒子計數(shù)器:用于測量潔凈環(huán)境中單位體積空氣內(nèi)的塵埃粒子大小及數(shù)目,可直接檢測潔凈度等級為三十萬級至百級的潔凈環(huán)境。采用了半導體激光光源,液晶屏大屏幕顯示,體積小、重量輕、檢測精度高、功能操作簡單明了,微處理器控制,交直流兩用,可在塵埃粒子計數(shù)器上貯存、打印測量結(jié)果,測試潔凈環(huán)境便利??赏ㄟ^通訊軟件將塵埃粒子計數(shù)器采集的數(shù)據(jù)上傳至電腦中,并可在office的excel中編輯、保存和打印。
廣泛應用于電子、光學、化學、食品、化妝品、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、航空航天等部門
二:紫外線表面落塵檢測儀
LUYOR-365潔凈室表面微粒檢測儀,產(chǎn)品表面落塵檢測儀
潔凈室表面落塵微粒檢測儀,產(chǎn)品主要由紫外線的照射,可檢測出帶有熒光的物質(zhì)的落塵和微粒。尤其對容易因靜電吸附難以清除的物質(zhì)(如纖維)具有的辯認效果.(若能降低環(huán)境光度,辯認效果更,可辯認到1微米/um的塵埃).一般無塵室所普遍使用的Particle counter或是落塵監(jiān)控設備只能檢測出環(huán)境落塵質(zhì)量,不能檢測Particle落于何處。透過紫光微粒檢測儀照射產(chǎn)生的把反差效果,能輕易看到微小肉眼難以辯論的落塵。
輕量化的設計,內(nèi)建充電式鋰電池,配置可提式保管箱,適合攜帶使用。
LUYOR-365紫光微粒檢測儀典型應用
無塵室設備及產(chǎn)品Particle清潔檢查
無塵室地面清潔檢查
曝光機柜框Particle清潔檢查
壓合鋼板清Particle潔檢查
關鍵詞:落塵檢測儀,微粒檢測儀,粒子計數(shù)器,紫外線燈,LUYOR-365,表面塵埃檢測儀,,
符:潔凈室國內(nèi)標準規(guī)范:
(1).潔凈廠房設計規(guī)范 GB50073-2001[1]
(2).醫(yī)院潔凈手術部建筑技術規(guī)范GB50333-2002
(3).醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范GB 50457-2008
(4).傳染病醫(yī)院建筑設計規(guī)范
(5).醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996
(6).QS認證質(zhì)量手冊
(7).GMP 藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范
鄭州君達儀器儀表有限公司長期供應:粒子計數(shù)器,潔凈室微塵檢測儀,落塵檢測儀
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